| 產(chǎn)品特點 | ·500 ~ 10000 RPM 旋轉(zhuǎn)速度（程序控制） ·PTFE腔體，最高加熱溫度200℃，可對旋涂樣品進(jìn)行干燥 ·適用基片尺寸5mm-130mm ·配有超聲霧化頭，可是旋涂液體霧化 ·加熱型注射泵，可液體加熱后再旋涂 ·上罩頂部有一個進(jìn)氣口，可在旋涂時通入氣體
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| 注液器 | ·3種液體注射方式： ·超聲噴頭材質(zhì)為鈦合金，配有電源控制器（圖1） ·一個是圓錐型-提供窄的霧化噴束~直徑2cm ·一個蘑菇頭型-提供寬的霧化噴束~4cm ·加熱型注射泵，最高溫度120℃（圖2） ·一個20ml塑料注射器
圖1 圖2 圖3
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| 涂布腔體 | ·PTFE 腔體具有抗腐蝕性 ·腔體尺寸: 直徑150 mm ·最高加熱溫度: 200°C (<10分鐘) ·一系列PTFE真空吸盤（Φ40mm和Φ10mm）
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| 真空泵 | ·配有一臺抽速為120L/min的無油真空泵，和直徑Φ8mm的真空管
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| 程序控制 | ·可儲存12條運行程序，每套程序可設(shè)置6段步驟 ·轉(zhuǎn)速:500 rpm - 10000 rpm （程序設(shè)定） ·每個步驟最長持續(xù)時間60s ·加速度:100 - 2000 rpm/sec （可調(diào)） ·精度:< 5%
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| 輸入電源 | ·電壓：AC 220V ·總功率：1000 W ·旋轉(zhuǎn)電機：24VDC 高速電機 |
| 進(jìn)氣口 | ·一個直徑為Φ6mm進(jìn)氣口，在PTFE涂布腔頂部，客戶通入氣體，可在流動氣氛環(huán)境下涂布樣品
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| 可選 | ·紫外（UV）燈，365nm波長，可用于旋涂材料固化和聚合
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| 產(chǎn)品尺寸 | ·450mm D×280mm W ×340mm H |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
| 應(yīng)用注意事項 | ·設(shè)備運轉(zhuǎn)必須放在通風(fēng)柜中，排除廢氣（圖1） ·薄膜的質(zhì)量根據(jù)漿料粘度，轉(zhuǎn)速和噴霧等參數(shù)，需要用戶自己探索比較好的工藝 ·不要用任何液體過度沖洗真空卡盤，否則液體會漏入到電機，損壞設(shè)備。可以用無紡布擦拭清理設(shè)備。 ·為了進(jìn)一步優(yōu)化涂布質(zhì)量，可用等離子體清洗極片后再涂布，可在本公司選購等離子清洗機或等離子槍（圖2&3）
圖1 圖2 圖3 |
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