| 產(chǎn)品特點 | ·500 ~ 12500 RPM 旋轉(zhuǎn)速度（程序控制）（最高13000rpm,＜60s） ·PP材質(zhì)防護罩，具有抗腐蝕性 ·適用基片尺寸Φ10mm-100mm ·上罩頂部有一個進氣口，可在旋涂時通入氣體 ·配有一個20ml的塑料注射器 ·可在Ar環(huán)境下的手套箱內(nèi)使用（真空泵必須放置在手套箱外） |
| 涂布腔體 | ·PP腔體具有抗腐蝕性 ·腔體尺寸: 直徑150mm ·一系列鋁制真空吸盤
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| 真空泵 | ·配有一臺抽速為120L/min的無油真空泵，和直徑Φ8mm的真空管
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| 程序控制 | ·可儲存12條運行程序，每套程序可設(shè)置6段步驟 ·轉(zhuǎn)速:500rpm - 10000rpm（程序設(shè)定） ·加速度:100 - 2000rpm/sec（可調(diào)） ·精度:< 5%
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| 輸入電源 | ·電壓：AC 220V ·總功率：1000W ·旋轉(zhuǎn)電機：24VDC高速電機 |
| 進氣口 | ·一個直徑為Φ6mm進氣口，在PTFE涂布腔頂部，客戶通入氣體，可在流動氣氛環(huán)境下涂布樣品
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| 注液器 | ·標配：20ml塑料注液器（圖1） ·可選1:精密數(shù)顯電動注液器20-200ul（圖2） ·可選2:加熱型玻璃注液器，最高溫度200℃（圖3）
圖1 圖2 圖3 |
| 可選 | ·可選1：PE加熱罩，帶有PID溫度控制器，最高溫度120℃（＜10分鐘）（圖1） ·可選2：PTFE加熱罩+Φ10mm PTFE真空吸盤，最高加熱溫度200℃（＜10分鐘）（圖2） ·可選3：UV LED 365nm波長，可用于旋涂材料固化和聚合 （圖3）
圖1 圖2 圖3 |
| 產(chǎn)品尺寸 |
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| 產(chǎn)品重量 | ·12kg |
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終身維護 |
| 應(yīng)用注意事項 | ·設(shè)備運轉(zhuǎn)必須放在通風柜中，排除廢氣（圖1） ·薄膜的質(zhì)量根據(jù)漿料粘度，轉(zhuǎn)速和噴霧等參數(shù)，需要用戶自己探索比較好的工藝 ·不要用任何液體過度沖洗真空卡盤，否則液體會漏入到電機，損壞設(shè)備。可以用無紡布擦拭清理設(shè)備。 ·為了進一步優(yōu)化涂布質(zhì)量，可用等離子體清洗極片后再涂布，可在本公司選購等離子清洗機或等離子槍（圖2&3）
圖1 圖2 圖3 |
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