| 加熱元件?& 輸入功率 | ·可選購2種加熱元件
·FeCrAl 合金絲: 最高溫度800oC ，功率400W
·鉬絲:最高溫度1000oC ，功率 800W ( 必須在真空或惰性氣體保護(hù)環(huán)境下使用，不適用于CVD/ALD等相關(guān)應(yīng)用中)
·輸入電壓: 0 - 35 VAC ，50/60Hz |
| 加熱臺 | ·儲存：78 mm OD x 85 mm H + .支撐桿 ( Φ10 mm x 62 mm L )
·加熱均勻區(qū)：Φ51 mm （+/- 5oC）
·加熱速率: 5oC/min
·熱電偶: K 型 |
| 溫控器 | ·可選購SCR溫度控制器 ·30 段升降溫程序 ·PID 方式調(diào)節(jié)溫度 ·控溫精度：+/-1℃ |
| 尺寸 |
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| 重量 | ·1kg |
| 質(zhì)保期 | ·一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
| 應(yīng)用 | 可用與DIY各種設(shè)備，如下圖 蒸鍍儀 冷壁CVD CSS爐 磁控濺射儀 ALD系統(tǒng) |
| 使用注意事項(xiàng) | ·選用鉬絲作為加熱元件時，必須在真空或惰性氣體保護(hù)環(huán)境下使用，不適用于CVD/ALD等相關(guān)實(shí)驗(yàn)中，以免反應(yīng)氣體損壞鉬絲 |
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