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管式爐溫區的作用

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管式爐溫區的作用

根據實驗要求選擇單溫區管式加熱爐和多溫區管式加熱爐,多溫區較單溫區設有多個熱電偶,n溫區加熱爐恒溫區比(n-1)溫區加熱爐的恒溫區要長,部分儀器尺寸變大。

1)恒溫區的作用

恒溫區一般指加熱爐內的某一溫度相同的區間,樣品放置在這一區間內,樣品各處受到的溫度會基本一致。(中心區域溫度差小于±1℃)

2)恒溫區不同帶來的變化

恒溫區的增加或減少可能會改變儀器的尺寸,儀器整體會變大或變小。

3)恒溫區選擇

選擇合適的恒溫區,一定要先根據樣品的尺寸或實驗要求的受熱體積來選擇。

A、實驗樣品尺寸大于儀器恒溫區,需要選擇多溫區來增加恒溫區的長度。

B、根據實驗要求需要多個溫度梯度時,這就需要多溫區來實現。

例如:通過物理沉積方式在基片上生長二維材料,原料高溫揮發后,利用載氣向低壓端移動,一定溫度下載基片上生長。(相鄰兩個溫區最大溫差300℃)

請注意加熱爐加熱區分為總加熱區長度(加熱源能覆蓋的區域)和恒溫區長度。恒溫區總是小于加熱區。請選擇一個恒溫區尺寸超過您樣品的加熱爐。

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管徑與坩堝對照表

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如何為CVD設備選型

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