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1300℃高壓助溶劑法晶體生長(zhǎng)爐
型號(hào):
CM-HIP-3-II
產(chǎn)品概述:
1300℃高壓助溶劑法晶體生長(zhǎng)爐如圖片所示,采用內(nèi)加熱方式,鉬絲為加熱元件,鉬+不銹鋼反射屏為隔熱材料。腔室為不銹鋼材質(zhì),在1300℃以?xún)?nèi)可以承受10Mpa的高壓。是采用助溶劑法生長(zhǎng)氮化鎵(GaN)等晶體材料的理想設(shè)備。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱(chēng)型號(hào)

· 1300℃高壓助溶劑法晶體生長(zhǎng)爐  CM-HIP-3-II


結(jié)構(gòu)

· 腔體采用SS304不銹鋼制作

· 腔體上安裝有安全閥(當(dāng)腔體壓力超過(guò)設(shè)置的最大值時(shí),安全閥將自動(dòng)泄壓)

· 不銹鋼腔體外安裝有一防爆箱

· 設(shè)備安裝有移動(dòng)輪,方便移動(dòng)

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基本參數(shù)

· 總功率:12 KW

· 電源:三相AC 380V 50/60HZ

· 加熱元件:鉬絲

· 最高加熱溫度:1300℃

· 最大壓力:10MPa

· 建議升溫速率:4℃/min

· 加熱區(qū)高度: 120mm+120mm(雙溫區(qū)獨(dú)立控溫)


爐腔與法蘭

· 腔體采用SS304不銹鋼制作(帶有水冷夾層,設(shè)備中配有水冷機(jī))

· 腔體尺寸:φ320mm(外腔)*φ235mm(內(nèi)腔)*413mm(高度不含法蘭蓋)

· 腔體內(nèi)部加熱區(qū)尺寸:φ110 * 240(120+120) mm

· 可放入坩堝尺寸:≤ φ90mm*100mm(H)

· 腔體上蓋安裝有壓力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)腔體內(nèi)的壓力變化

· 腔體采用雙重安全保護(hù)的設(shè)計(jì)思路,同時(shí)安裝有電磁安全閥和機(jī)械安全閥,當(dāng)腔體壓力超過(guò)最大上限壓力時(shí),安全閥將自動(dòng)進(jìn)行排氣

· 安全閥上限壓力范圍:≤11MPa

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· 腔體上蓋中間位置安裝了一截細(xì)長(zhǎng)型的小腔室,一個(gè)強(qiáng)磁鋼套在小腔室外部,腔室內(nèi)部安裝有磁性金屬桿,金屬桿下端安裝了一個(gè)陶瓷桿,陶瓷桿尾段有螺紋用于固定樣品;提拉桿穿過(guò)腔體上蓋和坩堝蓋到達(dá)腔體內(nèi)部樣品的位置。腔體上蓋安裝了一個(gè)電動(dòng)滑臺(tái),強(qiáng)磁鋼一端固定在滑臺(tái)上,通過(guò)磁鋼的移動(dòng)帶動(dòng)腔體內(nèi)部的樣品上下移動(dòng)

· 提拉桿移動(dòng)速度:5—100mm/min(可調(diào))

· 提拉桿提拉行程:80mm

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溫控系統(tǒng)與觸摸屏

· 包含兩個(gè)控溫儀表,每個(gè)溫區(qū)單獨(dú)控制

· PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

· 控溫精度:±1℃

· 熱電偶:采用進(jìn)口歐米茄C型熱電偶

· 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)觸摸屏,可在觸摸屏上設(shè)置兩個(gè)儀表的升溫程序

· 可在觸摸屏上查看設(shè)備的升溫曲線,并可保存和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

· 可在觸摸屏上設(shè)置實(shí)驗(yàn)所需要的壓力;實(shí)驗(yàn)時(shí)腔體內(nèi)部的壓力實(shí)時(shí)顯示

· 水冷設(shè)備、真空泵、以及真空閥門(mén)等均可在觸摸屏上進(jìn)行開(kāi)啟與關(guān)閉

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最高工作壓力

· 10MPa(1300℃時(shí))(充5個(gè)9高純氬氣)

· 腔體上安裝有安全閥(當(dāng)腔體壓力超過(guò)設(shè)置的最大值時(shí),安全閥將自動(dòng)泄壓)

· 工作氣體:Ar, N2


真空系統(tǒng)

· 一臺(tái)雙級(jí)旋片式真空泵,真空泵型號(hào):VRD-48;

· 配備VRD-48真空泵能夠達(dá)到的真空度 5*10-2 torr(冷態(tài)下,抽真空30min)

· 可根據(jù)客戶(hù)需要選配分子泵系統(tǒng)(具體要求可與銷(xiāo)售聯(lián)系定制)

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· VRD-48  

· 抽氣速率:13.3 L/S

· 極限壓力:4*10-1Pa(不帶負(fù)載,單獨(dú)機(jī)械泵)

· 額定功率:1500


水冷系統(tǒng)

· 設(shè)備需要配置一臺(tái)CW-6200的水冷機(jī),用于對(duì)高壓腔室和加熱電極進(jìn)行水冷保護(hù)

· 輸入電壓:220-240V  50HZ

· 輸入電流:0.5-4.5A

· 最大功率:1.8KW

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空氣壓縮機(jī)

· 功率:370W

· 壓力:0.8MPa

· 電源:220V 50HZ

· 排氣量:49L/min


設(shè)備外形尺寸

· 防爆箱關(guān)閉:長(zhǎng)1280mm*寬950mm*高1600mm

· 防爆箱開(kāi)啟:長(zhǎng)1720mm*寬950mm*高2180mm

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重量

· 約700KG



  注意事項(xiàng)

· 熱等靜壓爐升溫速率不得超過(guò)6度/min,否則會(huì)造成爐膛開(kāi)裂和加熱絲斷裂。

· 法蘭表面的溫度很高,請(qǐng)注意不要觸摸,防止?fàn)C傷。

· 該設(shè)備可正常燒制到1300℃,最高壓力為10MPa(在高純氬氣環(huán)境下),請(qǐng)不要過(guò)溫或過(guò)壓使用。

· 不得通氯化物、硫化物等易腐蝕的氣體,否則容易損壞法蘭,波紋管(選配)等不銹鋼材質(zhì)的配件。

· 由于加熱元件是鉬絲,在高溫下容易氧化,故只能通入高純氬氣,氮?dú)獾榷栊詺怏w,不可通入氧氣,以免鉬絲損壞。

· 爐內(nèi)溫度變成常溫后方可打開(kāi)上蓋。此時(shí)樣品溫度仍可能較高,請(qǐng)注意,或佩帶手套或其他工具操作。


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