| 設(shè)備名稱型號 | · 1200℃小型流化床CVD爐（帶1英寸外徑石英管和法蘭，用于粉末CVD） OTF-1200X-S-FB |
| 爐體結(jié)構(gòu) | · 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) · 爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料，最大程度的減少能量損失 · 內(nèi)爐膛表面涂油美國進(jìn)口1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 · 爐體設(shè)計為開啟式，方便更換爐管 · 專門針對粉末表面沉積的CVD實驗 |
| 基本參數(shù) | · 電源：AC220V 50/60HZ · 功率：1.2KW · 最高溫度：1200℃ · 長期工作溫度：1100℃ · 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁 · 推薦升溫速率：≤10℃/min · 熱電偶：K型 · 加熱區(qū)長度：200mm |
| 爐管 | · 材質(zhì)：采用高純特制石英爐管 · 尺寸：兩端φ25mm（中間φ50mm）長度482mm · 多空石英板孔徑：10-15微米 尺寸：φ22mm*4mm厚
|
| 溫控系統(tǒng) | · 包含一款858型溫度控制器 · PID自動控溫系統(tǒng) · 智能化30段可編程控制 · 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 · 通過MET認(rèn)證 |
| 不銹鋼密封系統(tǒng) | · 上端法蘭安裝了一個φ6.35的卡套接頭作為出氣口使用，一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷，安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)壓力，一個鎧裝接口為備用接口 · 下端法蘭上的一個φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用。一個不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷 |
| 真空系統(tǒng)（選配） | · 采用雙旋片式機(jī)械泵真空度可以達(dá)到10-2toor · 如果想要獲得更高的真空度（10-5toor 或更高）可選購國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組
|
| 設(shè)備外形尺寸 | · 340mm（L）*300mm（W）*1300mm（H）（長度包含爐管與法蘭） |
| 重量 | · 約20KG |
| 質(zhì)保 | · 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
使用注意事項 | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備09007391號-1 
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
查看誠信檔案
