| 設(shè)備名稱與型號(hào) | 分體式蒸發(fā)鍍膜儀（可放入手套箱） GSL-1700X-SPC-2 |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | · φ6英寸的石英腔體，便于清潔和放入樣品 · 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái)，且樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜更加均勻 · 樣品臺(tái)與蒸發(fā)源之間的距離可調(diào) |
| 基本參數(shù) | · 電源：110V，50/60HZ · 功率：＜800W · 最高加熱溫度：≤1500℃ |
| 真空腔室 | · 材質(zhì)：高純石英 · 尺寸：外徑φ166*內(nèi)徑φ150*L250mm · 密封法蘭: 采用金屬鋁制作，采用硅膠密封圈密封 · 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上 · 一個(gè)φ175*267mm不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體 · 真空度：≤7.5×10-3 Torr （采用雙極旋片真空泵）, ≤5×10-3 Pa（采用渦旋分子泵）
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| 基片臺(tái) | · 基片臺(tái)尺寸：φ2″ · 可放入基片最大尺寸：φ50mm · 基片臺(tái)旋轉(zhuǎn)速度：5rpm/min · 基片臺(tái)與蒸發(fā)源之間距離：30-80mm（可調(diào)）
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| 溫控及加熱源 | · 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有專用的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，便于溫度測量和控住 · 采用S型熱電偶（工作溫度為200℃-1500℃）； · 控溫方式：手動(dòng)控溫和程序控溫（通過“手動(dòng)/自動(dòng)切換開關(guān)”切換） · 手動(dòng)控溫：通過旋轉(zhuǎn)面板上的電流調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)電流值，從而調(diào)節(jié)溫度 · 程序控溫：安裝了一個(gè)溫控儀表，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為±1℃,在觸摸屏上設(shè)置升降問程序，控制加熱。 · 溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以分鐘為單位，建議將升溫/降溫速率限制在2秒0.5℃/s左右，低溫下使用時(shí)建議升溫速率≤5℃/ min
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| 氣氛 | · 法蘭蓋上有一個(gè)φ6.35mm的進(jìn)氣口，可向真空腔室中通入惰性氣體，對(duì)腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜 · 法蘭上含有一個(gè)旋鈕式的放氣閥 · 設(shè)備主體左側(cè)有一個(gè)KF25接口，接口上安裝了一個(gè)不銹鋼三通，三通的KF16接口安裝了一個(gè)數(shù)顯真空計(jì)，三通的KF25接口通過波紋管與真空系統(tǒng)連接 |
| 饋通 | · 標(biāo)配兩個(gè)卡箍轉(zhuǎn)接頭連接在手套箱外部的接頭上，一個(gè)用于用于連接真空泵，一個(gè)用于連接鍍膜儀的饋通組件
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| 手套箱（選配） | · 尺寸：約2450mm（長）×1870mm（高；含支架）×840mm（寬） · 材質(zhì)：不銹鋼結(jié)構(gòu)﹝Type 304﹞， 厚度3mm ； · 手套：手套口8英寸，厚度0.4mm丁基〔butyl〕手套，聚四氟材料手套口（防腐蝕）,口徑220mm； · 窗口：傾斜設(shè)計(jì)的操作面，可開啟式璃板前窗口，方便大件實(shí)驗(yàn)設(shè)備的取放，耐磨、抗腐蝕、透光性好、密封圈采用硅膠密封圈。前窗口為可開啟式； · 箱體不可抽真空； · 箱體配置有防反射的照明節(jié)能燈，光線柔和； · 箱體內(nèi)設(shè)有多孔電源接線板一個(gè)（電源：220V±10% 50Hz±10%）； · 箱體可設(shè)置5個(gè)標(biāo)準(zhǔn)KF-40接口，以便于接入液體、氣體饋通 |
| 真空系統(tǒng)（選配） | · 型號(hào)：VRD-8 · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.4KW · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負(fù)載） · 抽氣速率：2.2L/s · 抽氣口：KF25接口
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| 儀器外觀尺寸 | · 蒸鍍部分外形尺寸 ：330*260*600mm · 加熱控制系統(tǒng)外形尺寸：550*400*340mm
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| 凈重 | ·約50kg |
| 質(zhì)保 | 一年保修，終身技術(shù)支持 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損失不在保修范圍內(nèi)。 |
注意事項(xiàng) | · 蒸鍍電流不宜大于25A。 · 蒸鍍儀在工作中嚴(yán)禁旋開試樣室充氣閥充氣、關(guān)閉真空泵。 · 蒸鍍儀最高工作溫度不得超過1500℃（長時(shí)間工作溫度） · 如誤將控溫儀表設(shè)為手動(dòng)狀態(tài)，程序?qū)⒉荒苷＿\(yùn)行。 · 此設(shè)備儀表程序時(shí)間為秒，200℃之前升溫速度不宜大于5度/分鐘，整體升溫速率大約在2秒每度。 · 鎢絲藍(lán)必須在真空狀態(tài)下（＜5Pa）才能通電加熱，否則會(huì)被氧化。 |
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