| 名稱型號(hào) | ·1200℃五溫區(qū)液相外延法晶體生長爐（針對(duì)YIG薄膜，LPE法） VTF-1200X-LPE |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ·控制系統(tǒng)采用觸控一體機(jī)控制 ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。 ·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維，最大程度的減少能量損失。 ·該設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，分上中下三部分可以拆開運(yùn)輸，方便進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室和運(yùn)輸。 ·電動(dòng)升降樣品臺(tái),便于客戶取放樣品和二次加料 ·多片式石英管堵，提高潔凈度 ·帶有石英的隔離內(nèi)腔
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| 加熱爐系統(tǒng) | ·電壓：三相 AC380 50/60Hz ·最高溫度: 1200℃ (<30min) ·加熱爐最大功率：17KW ·額定溫度: 1100℃ ·推薦升溫速率：≤10℃/min ·加熱區(qū)長度：五個(gè)溫區(qū)1000mm(5*200mm)，每個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制 ·控溫精度：±1℃ ·熱電偶：五根K型熱電偶 ·加熱元件：康泰爾電阻絲
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| 溫控系統(tǒng) | ·采用觸摸屏+溫控器模式 ·包含一款歐陸EPC3000系列控制器 ·PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) ·智能化24段可編程控制 ·默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口 ·控溫精度：±1℃ ·所有的電氣元件都通過UL或MET認(rèn)可，并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測(cè)試
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| 提拉機(jī)構(gòu) | ·采用伺服電機(jī)+諧波減速器來驅(qū)動(dòng)籽晶桿上下移動(dòng) ·私服電機(jī)+高精度直線模組保證籽晶桿在移動(dòng)過程中順滑 ·籽晶桿移動(dòng)有慢速提拉和快速移動(dòng)兩種模式 ·籽晶桿可移動(dòng)范圍：750mm ·提拉速度范圍：0.02mm/hr--10mm/hr(可調(diào)，精度+/-1um) ·籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度：1-60RPM ·籽晶桿裝到三抓夾頭上，三抓夾上方裝有彈簧可以調(diào)節(jié)籽晶桿旋轉(zhuǎn)時(shí)同心度
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| 觸摸屏控制 | ·觸摸屏控制面板可控制單晶提拉速度，籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度和加熱爐的升溫曲線 ·觸摸屏控制面板可以控制樣品臺(tái)升降 ·具有溫度曲線保存功能，溫度曲線數(shù)據(jù)可以保存記錄和導(dǎo)出
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| 法蘭，管子，樣品臺(tái) | ·爐膛內(nèi)裝有一根外徑150*1175mmm石英管 ·石英管通過上下法蘭固定，不銹鋼法蘭為非密封的（注：法蘭主要作用是支撐石英管） ·爐膛上部通過石英管堵保溫，下部通過泡沫陶瓷管堵保溫 ·下法蘭裝有支撐桿和樣品臺(tái) ·樣品臺(tái)可放置最大坩堝直徑100mm ·樣品臺(tái)和坩堝采用電動(dòng)升降方式，方便取放樣 ·下法蘭和固定板之裝有四個(gè)彈簧，可以調(diào)節(jié)下法蘭水平
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| 產(chǎn)品尺寸 | ·外形尺寸：1020*1185*3420mm（長*寬*高） ·下部外形尺寸：1020*1185*800mm（長*寬*高） ·中部外形尺寸：1020*1185*1300mm（長*寬*高） ·上部外形尺寸：1020*1185*1320mm（長*寬*高）
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| 重量 | ·約290kg |
| 保質(zhì)期 | ·1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件） |
| 操作展示視頻 |
操作展示視頻 |
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