| 流量計 | ·三個由聚四氟乙烯制成的防腐氣體流量計，流速為100-1000 mL/min（0.1-1.0 L/min）； ·一個機械壓力表（混合罐）：0-0.05 MPa |
| 閥門 | ·前面板有三個聚四氟乙烯針閥，用于控制氣體出口
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| 儲氣罐 | ·500 mL聚四氟乙烯儲氣罐； ·內(nèi)置氣體混合罐，可更好的混合氣體 |
| 管道配件 | ·由聚四氟乙烯制成的管道配件，可兼容φ6.35mm的管道（尼龍或不銹鋼）； ·有三個氣體入口，每個通道都有獨立的氣體流量計； ·12”長1/4”直徑的聚四氟管
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| 尺寸 | ·外形尺寸：340Lx300Dx180H，mm |
| 重量 | ·7.25kg |
| 質(zhì)保期 | ·一年 |
| 相關產(chǎn)品 |
CVD&PECVD 供液系統(tǒng) |
| 應用提示 | ·如果您的CVD實驗涉及腐蝕性氣體，如硫化氫，您可選購我公司聚四氟乙烯法蘭 |
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