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石英舟(可用于晶圓擴散處理1"-12"）
- 產(chǎn)品概述：
- 高純度石英舟使用溫度可高達1200℃
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技術參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
| 基本參數(shù)
|
石英舟是由超高純度(4N純度)制成的，用于擴散、氧化和退火，最高 1200℃。 每只能攜帶一個尺寸的晶圓,最多25片,直徑從1"到12"，0.5毫米厚 尺寸 | 可放入爐子
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| | 1“ | OTF-1200X φ50
| 
帶石英舟的1"晶圓片 | 
機械繪圖 | 
帶石英舟的1"晶圓片
可放入2"管 | 
將1"晶圓片置于爐中央 | | 2“ | OTF-1200X φ80 |
帶石英舟的2"晶圓片 | 
2"石英舟橫截面繪圖(mm)-長度180mm | 
帶石英舟的2"晶圓片
可放入3"管 | 
將2"晶圓片置于爐中央 | | 3“ | OTF-1200X φ100 |
帶石英舟的3"晶圓片 | 
3"石英舟橫截面繪圖(mm)-長度180mm |
帶石英舟的3"晶圓片
可放入4"管 |
將3"晶圓片置于爐中央 | | 4“ | OTF-1200X-5L |
帶石英舟的4"晶圓片 | 
4"石英舟橫截面繪圖(mm)-長度180mm |
帶石英舟的4"晶圓片
可放入5"管 |
將4"晶圓片置于爐中央 | 4"X4“
| OTF-1200X-5L
VBF-1200X-H8 | 
4"的晶圓片配有一艘石英舟 |
| 4"x4"方晶圓片(帶石英舟) 可放入8"管內 |
將4"晶圓片置于爐中央 | | 6" | GSL-1100X-8.5-S
GSL-1100X-8.5-S-III VBF-1200X | 
6"石英舟的尺寸 |  |
帶石英舟的6"晶圓片
可放入7"管內 | 
能放入VBF-1200爐中 | | 8" | GSL-1100X-11-III | 
8"石英舟的尺寸 | |
帶石英舟的8"晶圓片
可放入8.5"管內 |
將8"晶圓片置于爐中央 | | 12" | OTF-1100X-III
| 
12"石英舟的尺寸 |  |
帶石英舟的12"晶圓片
可放入15"管內 | 
將12"晶圓片置于爐中央
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| 注意事項
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·請在接受交貨前檢查包裝是否損壞。 如果發(fā)現(xiàn)損壞，請保留所有包裝材料，拍照，并立即向發(fā)貨方報告。
·請注意，此產(chǎn)品屬于易耗品，不在保修范圍內。使用前，請檢查清楚。
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