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1200℃雙爐體(管徑80mm)滑動TCVD系統
關鍵字:
快速加熱沉積、快速冷卻、獨立控溫
型號:
OTF-1200X-80-DFSL(內部名稱:雙爐體滑動管式爐)
產品概述:
OTF-1200X-80-DFSL是由兩個管徑80mm開啟式管式爐組成,最高溫度1200℃,用于生長2D材料,左邊爐子固定用于升華(也可手動滑動),右邊爐子采用電動方式滑動爐子,可實現快速加熱沉積和快速冷卻,兩個加熱爐都有獨立控溫系統,升華和沉積可以設置不同的溫度,可用于二維過渡金屬硫化物(TMDC)單層膜的制備。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產品名稱型號

雙爐體滑動管式爐 OTF-1200X-80-DFSL

產品特點

· 采用雙爐體滑動結構。

· 右邊加熱爐采用電動滑軌

· 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統

· 爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維,最大程度的減少能量損失。 

加熱爐系統(右邊)

· 電動單溫區 OTF-1200X

· 電壓:單相 AC208--240V 50/60Hz

· 最高溫度: 1200℃ (<30min)

· 額定溫度: 1100℃

· 推薦升溫速率:≤10℃/min

· 加熱區長度400mm  

· 加熱爐最大功率:3KW

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合

· 熱電偶類型:K型熱電偶

· 滑動距離400mm(可以根據客戶要求定制滑動距離)

· 可電動左右滑動,滑動速度可調(調速范圍:14-65mm/s)

· 加熱爐滑動到最左邊,按照升溫程序,到達一定溫度可自動滑到最右邊

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加熱爐系統(左邊)

· 固定三溫區:OTF-1200X-Ⅲ-C

· 電壓:單相 AC208--240V 50/60Hz

· 最高溫度: 1200℃ (<30min)

· 額定溫度: 1100℃

· 推薦升溫速率:≤10℃/min

· 加熱區長度:150mm+150mm+150mm總長度150mm

· 加熱爐最大功率:3.6KW

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合

· 熱電偶類型:K型熱電偶

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溫控系統

· 包含一款518系列型溫度控制器(也可以選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃)

· PID自動控溫系統

· 智能化30段可編程控制

· 默認DB9 PC通訊連接端口

· 控溫精度:±1

· 所有的電氣元件都通過UL或MET認可,并可通過世界范圍內的其他相關安全測試

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不銹鋼密封法蘭系統

· 一套Ф80不銹鋼水冷密封法蘭

· 法蘭和石英管采用,O型圈+壓環+O型圈,螺紋壓緊密封

· 左側法蘭裝有機械壓力表、針閥、G1/4進氣口、預留Ф12水管接口


· 右側法蘭裝有針閥、寶塔嘴出氣口、預留Ф12水管接口和KF25抽氣口

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石英管


· 高純石英管尺寸:

· 25 O.D x 19 I.D x 1800 L (mm)

· 50 O.D x 44 I.D x 1800 L (mm)

· 60 O.D x 55 I.D x 1800 L (mm)

· 80 O.D x 75 I.D x 1800 L (mm)

· 100 O.D x 95 I.D x 1800 L (mm)

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真空系統(選配)

· 配套機械泵,真空度可以達到10-2 ttor

· 配套分子泵,真空度可以達到10-5 ttor(選配)

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水冷設備(選配)

· 型號:KJ-5000

· 工作電流1.4-2.1A

· 制冷量2361Btu/h

· 尺寸55×28×43cm(長×寬×高)

· 水箱容量:6L

· 水流速率:16L/min

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產品尺寸

· 爐門關閉2200*500*680mm(長*寬*高關閉   

· 爐門開啟2200*700*950mm(長*寬*高打開

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重量

210kg

保質期

1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件)






使用注意事項

· 石英管內氣壓不可高于0.02MPa;

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向石英管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。

· 設備需在獨立供電網下工作,電網電壓范圍要求在±8%內,不可與中頻高頻等高磁場發生設備共用供電網,遠離中頻設備,防止空間電磁輻射。

·如果同一供電回路存在中、高頻設備,或者大型感性負載,應在供電回路加入適當的電抗柜濾波,配置電容柜自動補償,諧波檢測和治理,對設備進行電磁隔離處理,否則可能導致加熱爐工作不穩定甚至損壞!此類問題導致加熱爐故障或損壞不屬于保修范圍。

·設備請遠離存在液體飛濺場所

·設備請遠離存在導磁導電粉末

·保溫和加熱元件為損耗件,保溫材料在燒結過程中出現裂紋為正常現象,可使用修補劑修補,加熱元件為損耗件,在電爐長時間使用后無法達到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯系廠家判斷是否要進行更換,

·該設備高精度溫控范圍為300-1000℃,低溫運行會存在溫度振蕩,

·不建議500℃以上開啟爐膛


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