| 產(chǎn)品名稱 | · 大面積雙管石墨烯生長爐 GSL-1100X-III-D11 |
| 產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
| 主要特點(diǎn) | · 雙管設(shè)計(jì)：外管直徑Φ280mm，內(nèi)管直徑Φ254mm，箔材可以纏繞在內(nèi)管外壁上，然后進(jìn)行CVD生長。 · 手動操作送管器，可以輕松的將內(nèi)管送入或移出。 · 可提供7000cm^2的大面積管狀生長區(qū)域。 · 最高溫度可達(dá)1100℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 |
| 基本參數(shù) | · 最高溫度: 1100℃（≤30min） 工作溫度: 1000℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 · 電壓：三相AC380 · 額定功率：24KW |
| 加熱區(qū) | · 三個加熱區(qū)：（總加熱區(qū)長度：1230mm） · 溫區(qū)1: 410mm (16") · 溫區(qū)2: 410mm (16") · 溫區(qū)3: 410 mm (16") |
| 爐管 | · 兩根高純石英管 |
| 真空法蘭 | · 配有一套304不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封。 · 右端法蘭采用KF25接口用于連接真空泵和手動泄壓。 · 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭，用于通入反應(yīng)氣體。 · 一個機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上，用于監(jiān)控管道壓力。 |
| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) · 儀表控溫精度: +/- 1°C |
| 送管裝置 | · 手動操作送管器，可以輕松的將內(nèi)管送入或移出。 |
| 質(zhì)保期 | · 一年保修，終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 · 降溫時請利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源，防止出現(xiàn)安全問題。 |
警示 | · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 · 對于使用H2和CH4等易燃?xì)怏w，請與本公司聯(lián)系咨詢安全措施。 我們強(qiáng)烈建議在裝有H2和CH4泄漏檢測儀的通風(fēng)櫥內(nèi)操作熔爐。 |
可選配件 | · 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖1) · 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。（請點(diǎn)擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥）。(圖2) · 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖3) · 可選購歐陸儀型溫控儀表，控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖4) · 可在本公司購買生長石墨烯的銅箔。（圖5） · 可在本公司選購輥壓機(jī)，對石墨烯進(jìn)行干法轉(zhuǎn)移。（圖6） · 可選購小型氣液混合器，進(jìn)行CVD生長。（圖7）
圖一 圖二 圖三 |
PC控制(選配） | · 請?jiān)谫徺I爐子前，準(zhǔn)備一臺電腦。 · 可選購MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序，以達(dá)到遠(yuǎn)程控制。 · 購買帶有PC控制的加熱爐，如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動擋板閥。
· 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進(jìn)行額外訂購。
· 機(jī)械真空計(jì)（作為設(shè)備標(biāo)配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時間外，該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險。
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真空泵組(選配） | 此設(shè)備也可以進(jìn)行抽真空，配合本公司生產(chǎn)的真空泵組
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