| 設備名稱 | 1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統—OTF-1200X-II-PEC4 （2019.12.23—科晶實驗室審核） |
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| 產品提示 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產品特點 | ? 爐體可在0 ~ 25°內傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出 ? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度 ? 齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性 ? 4通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控 ? 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對前驅體進行蒸發用于后續的混合物理化學氣相沉積階段。 |
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| 相關視頻 |
操作視頻 回轉爐+送料器操作視頻 |
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| 加熱爐參數 | ? 最高溫度：1200oC（<30min），連續工作溫度：1100℃； ? 兩個PID溫度控制器及50段可編程溫控系統； ? 輸入功率：208-240V，單相，最大功率：2.5KW； ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗； ? 回轉爐旋轉速度：2-10rpm； ? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
更多參數請聯系科晶銷售部 |
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| 蒸發舟參數 | ? 0.7mL氧化鋁坩堝（由鎢絲加熱圈包圍）； ? S型熱電偶插入坩堝中實現對蒸發物料的精確測溫； ? 最高溫度可達1300℃（＜1h），長期使用溫度：1200℃（當管內溫度達800℃時，蒸發舟溫度可達1500℃）。
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| 射頻電源 | ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。
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| 真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-2Torr。
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| 供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍:
? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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| 產品尺寸和重量 | ? 爐體尺寸：2800mm L ′ 800mm W ′1700mm H； ? 混氣系統尺寸：600mmL′850mm W′700mm ? 凈重：180kg
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| 認證 | ? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證
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| 承諾 | ? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） ? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
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| 國家專利 | 專利名稱：一種等離子增強旋轉爐裝置 專利號：ZL 2019 2 1533393.7 尊重原創、鄙視抄襲、侵權必究。 |
科晶應用技術實驗室利用PECVD在不同功率（75W、150W、300W）條件下沉積Sb2Se3薄膜，實驗結果如下：
組別 | SEM結果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
未經任何處理的樣品 |
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| 40.01 | 59.99 |
等離子體處理 |
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| 41.04 | 58.96 |
等離子體處理 min |
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| 41.64 | 58.36 |
等離子體處理5 min |
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| 41.86 | 58.14 |
小結:
（1）等離子體能改變Sb2Se3薄膜的形貌，同時改變Sb2Se3的組成；
（2）隨著射頻電源功率的增加，Sb2Se3中的Se百分含量降低。
組別 | SEM結果 | 元素百分比 | ||
Sb (%) | Se(%) | |||
10W、條件下沉積Sb2Se3 |
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| 40.01 | 59.99 |
75W、條件下沉積Sb2Se3 |
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| 70.28 | 29.72 |
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| 43.13 | 56.87 | |
75W、且補充2粉末（10%質量比Sb2Se3）沉積Sb2Se3 |
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| Sn: 22.78 Sb: 25.77 | 51.44 |
小結:
（1）低功率等離子體條件下可得到近原子比的Sb2Se3；
（2）高壓條件下可得到富Sb的Sb2Se3薄膜；
（3）添加Se會破壞PECVD沉積的Sb2Se3的原子比；
（4）當SnSe2質量比為10%時，可以得到Sb：Sn摩爾比接近于的薄膜，該方法適用于摻雜。
XRD結果
警示 | ? 爐管內氣壓不可高于0.02 MPa； ? 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全； ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃； ? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態； ? 射頻電源工作時，請勿觸碰。 |
應用技術提示 | ? 通入爐內氣體流量需小于200 sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管造成沖擊； ? 加熱時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02 MPa，需立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂、法蘭飛出等）； ? 射頻電源在低氣壓、低功率條件下起輝。 |
防腐型真空表 （可選） | ? 輸入電源24V，1A DC（配有電壓轉換器）； ? 測量范圍3.8′10-5-1125 Torr； ? 數據顯示：數顯（屏幕尺寸為20′14mm），其單位為torr ? 連接：1/8"NPT 接頭 ? 產品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L′W′ H)
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爐管 | ? 高純異形石英管尺寸：兩端：25 mm OD′22 mm ID；中間：50mm O.D′44mm I.D′190mm L
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密封法蘭 | ? 一對不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭）； ? 磁流體密封旋轉接頭安裝在兩端，以保證旋轉過程中進氣管和其它附件的正常使用，避免卷繞。
配件法蘭1 配件法蘭2 配件法蘭3 配件法蘭4 | ||||||||||
進料/收料器 | ? EQ-PF-1S是一款容積式自動進料器，包含電動攪拌器及帶有振動裝置的不銹鋼料斗，可實現固體粉料的自動化進料，從而實現固態粉料的連續式燒結/熱處理； ? 2L不銹鋼收集桶安裝在右側，可實現真空氣氛保護環境下的粉料樣品收集（標配中包含）   進料器 收料器 | ||||||||||
溫儀表 （可選） | ? 單回路、雙回路和三回路控制模式； ? 每個回路可實現雙輸入，雙保護； ? 各回路可PID、串級、比率等回路控制； ? 數碼顯示，配備7個按鍵，可用于進行各控制回路的切換和參數修改； ? 最多可存儲50個程序，每個程序最多可有3個不同的設定值（即3條不同的曲線），最多可設置500段升降溫程序； ? 通訊方式多樣，Modbus/Profibus DP/DeviceNet/EI-Bisync/RS485通訊接口，可連接PC進行遠程控制。
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真空系統 （可選） | ? 科晶公司提供一系列低真空、高真空及進口高真空設備，以滿足在不同真空條件下的實驗需求。
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供氣系統 （可選） | ? 科晶公司提供各種通道浮子、質子流量計可供選擇，以實現氣體流量的精確控制。
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