| 設(shè)備名稱 | ? 旋轉(zhuǎn)CVD管式爐系統(tǒng)--OTF-1250X-R8-III （2019.12.6—科晶實(shí)驗(yàn)室審核） |
| 產(chǎn)品提示 | 科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/span> 圖片未及時(shí)更新提示 多種配件可選提示 危險(xiǎn)設(shè)備操作提示 |
| 主要特點(diǎn) | ? 開啟式管式爐設(shè)計(jì)方便進(jìn)行爐管的更換和維修 ? 爐管旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)（0-10rpm） ? 爐管傾斜角度可調(diào)（0-15°） ? 可大批量處理粉料（每批25Kg） |
| 基本參數(shù) | ? 連續(xù)工作溫度： 石英管：400~1100℃（最高工作溫度：1200℃） NiCrAl合金管：400~1250℃（最高工作溫度：1250℃） ? 建議升溫速率：≤10℃/min ? 恒溫精度：±1℃ ? 電源：AC208-240，三相 ? 爐體最大功率：30KW 更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部 |
| 加熱元件 | ? SiC棒 |
| 溫控系統(tǒng) | ? PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) ? 智能化50段可編程控制 ? 具有超溫及斷偶報(bào)警功能 ? 通信端口：RS485 |
| 爐體結(jié)構(gòu)和爐管尺寸 | ? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） ? 一個(gè)直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)爐管轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速可調(diào)（0-10 r/min）。 ? 高純石英管尺寸：8.5" OD x 8.1" ID x 63" L 內(nèi)部焊接有揚(yáng)料板，使粉體燒結(jié)更加充分和均勻 ? NiCrAl合金管尺寸：8" OD x 7" ID x 63" L ? 兩個(gè)氧化鋁管堵與法蘭連接置于爐管兩端隨爐體轉(zhuǎn)動(dòng)，防止熱量以熱輻射的形式損失 |
| 密封法蘭 | 爐管包含一套密封法蘭，標(biāo)準(zhǔn)配置如下： ? 采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（方便進(jìn)行裝卸料） ? 機(jī)械壓力表（范圍-0.1MPa~0.15MPa） ? 不銹鋼針閥&1/4"軟管接頭，KF25真空接頭以及1/4"接頭 ? 旋轉(zhuǎn)接頭：采用動(dòng)密封旋轉(zhuǎn)接頭，進(jìn)氣口Φ6mm，所有配件都為可旋轉(zhuǎn)配件 注意：由于石英管和合金管外徑不同，故兩管法蘭不能互換使用 |
| 尺寸 | ? L1600mm * W800mm * H1900mm |
| 重量 | ? 約900 Kg |
| 質(zhì)保 | ? 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) ? 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 認(rèn)證 | ? 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
科晶實(shí)驗(yàn)室對旋轉(zhuǎn)爐設(shè)備做了一系列實(shí)驗(yàn)研究：
一、熱處理實(shí)驗(yàn)結(jié)果：
實(shí)驗(yàn) | 結(jié)果 |
碳粉 |  |
氧化鋯球 |  |
瀝青 |  |
二、CVD實(shí)驗(yàn)結(jié)果：
實(shí)驗(yàn) | 結(jié)果 |
乙炔氛圍包覆碳 | 高溫時(shí)，粉末粘黏石英管內(nèi)壁，包覆率為2% |
混合氣氛圍包覆碳 | 高溫時(shí)，粉末粘黏石英管內(nèi)壁 |
氧化物小球包覆瀝青 | 輕微結(jié)塊，包覆率為13% |
發(fā)生粉末堵塞法蘭現(xiàn)象：
使用粉末過濾器過濾尾氣，可避免堵塞情況發(fā)生：
若有疑問或需要更多詳細(xì)數(shù)據(jù)請聯(lián)系科晶實(shí)驗(yàn)室
應(yīng)用技術(shù)提示 | ? 使用冷阱時(shí)，由于是剛性連接，注意冷阱與腔體保持在同一水平線上，避免腔體升降產(chǎn)生應(yīng)力導(dǎo)致接口脫離。 ? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥。 ? 各型號回轉(zhuǎn)爐的裝料量。
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警示 | ? 降溫時(shí)請利用程序降溫，不建議直接按：“STOP”鍵降溫，設(shè)備溫度500度以上禁止關(guān)閉電源，以免發(fā)生誤開誤傷事故。 ? 不得通入氯化物，硫化物等易腐蝕氣體，易造成法蘭，波紋管（選配）等不銹鋼材質(zhì)的配件損壞。 ? 請注意選配的爐管使用的溫度。選配爐管具體情況請和我公司銷售溝通。 ? 高溫爐爐管不建議正壓使用，若使用正壓壓強(qiáng)爐管內(nèi)氣壓絕不可高于0.02MPa。 ? 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 ? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)。 ? 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 ? 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1000℃。 |
相關(guān)可選 | ·可選用真空系統(tǒng)配套使用： 機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr(圖1)； 分子泵真空度可達(dá) 10E-4 torr。(圖2) ·如果使用腐蝕性氣體，請使用冷阱或防腐干泵。(圖3) ·可選購合肥科晶的減壓閥配套使用。(圖4) ·對于化學(xué)氣相沉積涂層，您可以選擇我們的多通道氣體輸送系統(tǒng)和自動(dòng)送氣系統(tǒng)。（圖5） ·可選購本公司的自動(dòng)進(jìn)料器，與回轉(zhuǎn)爐配合使用。（圖6） ·在爐管的另一端安裝一個(gè)不銹鋼罐，用來收集燒結(jié)后的粉末，整個(gè)過程密閉。（圖7） ·為了使固體粉末順利流入加工管，您可能需要帶KF25開口的管法蘭（圖8）將兩個(gè)可能的旋轉(zhuǎn)組件（圖9、圖10）中的一個(gè)連接到KF25法蘭上。 ·全新筆記本電腦，配備Windowns 10和Office 2013（30天免費(fèi)試用）可即時(shí)使用（圖11），基于Labview的溫度控制系統(tǒng)(EQ-MTS01)使用戶能夠編輯溫度剖面，管理熱處理配方，記錄和繪圖數(shù)據(jù)（圖12）。無線遙控提供了高達(dá)300米的操作范圍。 注:本軟件僅與科晶宇電溫控器兼容 ·微量氧分析儀（0-1000ppm）。（圖13） 注意：氧分析儀需安裝在一側(cè)法蘭處并且保持氣體流動(dòng)進(jìn)行測試分析 圖1 圖2 圖3 圖4
圖5 圖6 圖7 圖8 圖9 圖10 圖11
圖12 圖13 |
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