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1200℃小型分體式 真空管式爐 (130mm管徑)
關鍵字:
單溫區、真空、分體式
型號:
OTF-1200X-5S
產品概述:
OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐,其最高工作溫度可以達到1100℃。爐管Φ130mm(或100mm)的高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭,可在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統,可設置50段升降溫程序,控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對5英寸的晶片進行退火。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
名稱

1200℃小型分體式真空管式爐(130mm管徑)--OTF-1200X-5S 

產品提示

1、危險設備使用提示    2、科晶實驗室邀請提示    3、配件妥善保管提示    4.多型號可選提示

主要特點

·5英寸的石英管和鉸鏈法蘭,寬大的腔體可作為箱式氣氛爐用(避免了箱式爐爐膛污染問題)

·可用于四英寸基片退火

·可以作為模塊,DIY ALD CVD PVD 蒸發爐 回轉爐等(具體請致電)

·采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率

·采用ABB電器元件

注:鉸鏈法蘭選配

主要特點1-水印.gif 主要特點2-水印.gif 主要特點3.jpg 主要特點4.jpg 主要特點5.jpg



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相關視頻

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           操作視頻                     拆裝熱電偶

基本參數

·工作溫度:1100℃(<0.5小時) 

·連續工作溫度:1000℃

·建議加熱速率:≦10℃/min

·加熱區長度:300mm 

·加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金

·電壓:AC 220V 50Hz 

·功率:3KW

·熱電偶:K型

更多參數請聯系我們


爐體結構

·配有一對不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封

·石英管尺寸:Φ130×750mm

·配有2個氧化鋁管堵,使用設備時應放在爐管兩端,保證恒溫區和法蘭密封性

·右端法蘭為KF25接口,用于連接真空泵

·真空度:10-2torr (采用機械泵) 

·安裝有一機械壓力表,測量范圍為-0.1~0.15MP

·采用PID方式調節溫度,可設置50段升降溫程序

·帶有超溫和斷偶保護


     圖片1.png  爐體結構6.png 


溫控系統

·包含一款YD858P型溫度控制器;

·PID自動控溫系統;

·智能化50段可編程控制;

·內置過熱保護和熱電偶故障報警;

·控溫精度:±1℃;

·默認DB9 PC通信連接端口;

·通過MET認證;

·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據;

圖片2.png


真空系統(選配)

·采用雙旋片式機械泵真空度可以達到10-2toor

·如果想要獲得更高的真空度(10-5toor or better)可選購國產或進口高真空機組

 圖片3.png 



外形尺寸

·爐蓋關閉尺寸:440mm(長)×440mm(寬)×460mm(高)

·帶法蘭支撐(每個260mm),總長:960mm(長)×440mm(寬)×460mm(高)

·爐蓋打開尺寸:440mm(長)×440mm(寬)×700mm(高)

·帶法蘭支撐(每個260mm),總長:960mm(長)×650mm(寬)×700mm(高)

·溫度控制器單位:260mm(長)×350mm(寬)×410mm(高)

重量:約48KG


外形尺寸.jpg

認證

·此產品已通過CE認證

  證書編號: M.2021.206.C67997

·若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

圖片1.png


質保期

一年質保期,終生維護

· 特別提示:

1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內



產品在線展示

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點擊圖片預約

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科晶實驗室用此設備做出的部分結果,以供您參考。

以下數據僅針對合肥科晶設備,不具有普遍性。如果您想了解詳細實驗方法,請聯系科晶實驗室索取詳細實驗報告。同時歡迎您帶著材料重復下列參數。

硅鋼退火

        實驗室案例1.png

Nb2O5粉(未處理前)      Nb2O5粉(處理后)

   實驗室案例2.png       實驗室案例3.png

熱處理硅片

主要特點2-水印.gif實驗室案例4.jpg


Poster—粉末冶金(鈦片退火).jpg

1642400367(1).jpg




相關可選

配置可選1.jpg

可選購5英寸的水冷鉸鏈法蘭,并帶有支撐架

備注:鉸鏈法蘭

配置可選2.png


可選購數顯防腐真空計

配置可選5.png


您可能需要在真空端部安裝一個手動擋板閥

配置可選8.png

可選購歐陸型溫控儀表,控溫精確度可以提升到±0.1℃。

配置可選3.jpg                   配置可選4.jpg


可選購石英管堵,提高爐管內的潔凈度和幫助獲得高真空

配置可選13.png

可選購MTS02-B控溫模塊,可用電腦設置和顯示溫度程序

配件可選6.png                        配件可選7.jpg


可選購鎧裝K型熱電偶,通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內部,測量樣品的實際溫度

     配置可選9.png             配置可選10.png             配置可選11.png


可選配件12.png


您可以訂購帶真空泵和溫度校準套件的爐子


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公司簡介

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