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1700℃質(zhì)子流量混氣高真空管式爐 （配50mm或80mm氧化鋁管，真空10^-4Torr，混氣2-4路可選）
- 關(guān)鍵字：
- CVD、單溫區(qū)、二路質(zhì)子
- 型號(hào)：
- GSL-1700X-HVC
- 產(chǎn)品概述：
- GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，其最高工作溫度可達(dá)1600℃，極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| GSL-1700X?系列管式爐
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殼體 | · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
· 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 · 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上，方便移動(dòng). 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機(jī)組 | 爐管 | · 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 · 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上 · （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L | 功率 | 6KW | 工作電壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | 加熱元件 | 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | 工作溫度 | · 最高工作溫度.: 1650°C（<2h）（更新時(shí)間：19.12.10--JS2）
連續(xù)工作溫度.: 1600°C | 升溫速率 | ≤5°C/min | 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 457 mm (18") | 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式自動(dòng)控制，并可設(shè)置50段升降溫程序 · 控溫精度: ±1°C · 控溫儀表操作視頻 熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi) | 真空法蘭 | · 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝 · 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表 · 兩個(gè)精密針閥 · 一個(gè)KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口 一個(gè)1/4"卡套接頭 | 外形尺寸 | 550 x 380 x 520mm |
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| 高真空機(jī)組
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功率 | 100~110W | 工作電壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | 外形尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | 殼體 | · 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm · 最大承載量: 600 Lbs on top · 分子泵控制面板: LCD 數(shù)字顯示 內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: | 控制面板 | · 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動(dòng)啟動(dòng)） · 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率 
| 抽氣速率 | · N2 33 L/s · He 39 L/s (2340L/minute) H2 32 L/s | 工作范圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | 極限 | <1E-8 mbar (without any leaking ) |
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| 質(zhì)量流量控制器
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殼體 | · 采用 316不銹鋼制作 · 混氣箱尺寸: Φ80X120mm · 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm MFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據(jù)客戶要求定制
 | 功率 | 18W | 工作電壓 | AC 208-240V, 單相, 50/60Hz |
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| 質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件
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| 質(zhì)量認(rèn)證
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· 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證 
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公司環(huán)境
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合肥科晶品牌紀(jì)錄片 公司環(huán)境
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