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1700℃單溫區三通道混氣真空管式爐(配73mm氧化鋁管和防腐真空計)
關鍵字:
單溫區 三通道
型號:
GSL-1700X-F3LV
產品概述:
GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統,其真空泵采用雙旋片式,混氣系統采用三路浮子供氣系統,最高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
管式爐結構

· 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能,減少熱量的損失

內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命


加熱元件

1800 grade MoSi2 ( 8根) 


最高工作溫度

1650℃(<2h)(更新時間:19.12.10--JS2)

1600℃(長期工作溫度)


最大升溫速率

 5/min


最大降溫速率

 5/min


加熱區長度

 455mm (18")


溫控系統

· 一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR

· 可設置50段升降溫程序

· 控溫儀表操作視頻

帶有過熱和斷偶保護


控溫精度

+/-1


爐管材質和尺寸

· 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管

· (標配)OD: 60 mmID: 50mm x1000 mm L   

(選配)OD: 80 mmID: 70mm x1000 mm L


密封法蘭

· 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經安裝機械壓力表(圖片中的藍表為選配)和閥門

· 通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr 

泄漏率最大6 mtorr/min


輸入電源

 AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:最大5KW


真空泵和配件

真空泵:· 一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內

            通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr

 配件:· 標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭

      · 一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍

      · 可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x 10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種

       類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)

         blob.png




氣體流量計

· 3個浮子流量計安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。

· 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min. 

· 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. 

· 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.

·  一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內的混氣箱相連接 ,來監測混合氣體的壓力

· 四個不銹鋼針閥安裝在前面板上

        Front Panel                     Back Panel                   Gas Routes


運輸信息

產品尺寸


· 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管

· 爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H

混氣系統:: 600 x 600 x 700mm 真空機組: 600 x 600 x 700mm

凈重

450 lb (總計)

運輸重量

500 lb (總計)


質保期

一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件


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