| 特征 | · 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作 · 采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布 · 磁體表面涂有一層保護層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命 · 標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配 · 安裝是采用標準真空接頭，便于操作 更換靶材較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度
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| 所需功率 | · DC（最大）1000W RF（最大）500W |
| 最大濺射電流 | 3A |
| 濺射電壓 | 100-1000V |
| 濺射時腔體真空度 | 5-100 mTorr |
| 濺射均勻性曲線圖 |
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| 尺寸 | 陽極護套直徑：3.5英寸 總長度：14英寸 |
| 靶材 | 直徑: 2.0英寸(50.8mm) 厚度: 對于非磁性靶材，最大厚度為1/8英寸 靶材利用率：30% 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵 |
| 需要冷卻水 | 流速:0.8 GPM 進水溫度:<20 ℃ 水管:0.25" OD. |
| 可選配件 | · 當同時購買300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭 · 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸 循環(huán)水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L |
| 外形尺寸 |
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| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護 |
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