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膜厚監測儀
- 型號：
- EQ-TM106
- 產品概述：
- EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合先進的頻率測量技術，進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。
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本站產品介紹內容（包括產品圖片、產品描述、技術參數等）僅用于宣傳用途，僅供參考。由于更新不及時和網站不可預知的BUG可能會造成數據與實物的偏差，請勿復制或者截圖。如果您對參數有異議，或者想了解產品詳細信息及更多參數，請與本公司銷售人員聯系。本站提供的信息不構成任何要約或承諾，請勿將此參數用于招標文件或者合同，科晶公司會不定期完善和修改網站任何信息，恕不另行通知，請您諒解。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
| 主要特點
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本機可與計算機連接。 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM 控制輸出的百分比等工作狀態。 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置，并可將所測相關數據寫入Excel文件。 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。
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| EQ-TM106-1監測組件
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電源：DC 5V（±10%），最大電流400mA 頻率分辨率：±0.03Hz 膜厚分辨率：0.0136?（鋁） 膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度 測量速度：100ms-1s/次，可設置 測量范圍：500000?（鋁） 標準傳感器晶體：6MHz 計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8，停止位：1，校驗：無） 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調制輸出（集電極開路或內部5V輸出） 工作環境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
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| EQ-TM106-2顯示儀
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| EQ-TM106-3探頭
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| 標準配件
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1EQ-TM106-1監測組件1個2EQ-TM106-2顯示儀1臺3EQ-TM106-3探頭1個 |
| 質保期
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一年質保期，終身維護 |
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