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1200℃三溫區(qū)開啟式立式管式爐
關(guān)鍵字:
三溫區(qū)
型號(hào):
OTF-1200X-III-VT
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-III-VT是一款三溫區(qū)的立式管式爐,最高溫度可達(dá)到1200℃。此款管式爐不僅可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行快速地?zé)崽幚砗痛慊穑瑫r(shí)也可用PVD、CSS和CVD方法來制作薄膜。三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制,每個(gè)溫區(qū)可設(shè)置50段升降溫程序,其控溫精度為+/-1℃,爐體下端安裝有一移動(dòng)爐架,以便于設(shè)備移動(dòng)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱

1200℃三溫區(qū)開啟立式爐-OTF-1200X-VT-III

爐體結(jié)構(gòu)

l采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

l爐體設(shè)計(jì)為開啟式,以方便與更換爐管

l采用高純氧化鋁作為爐膛材料,爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命


基本參數(shù)

溫度:長(zhǎng)期1100℃ (1200℃<1h)

建議升溫速率:≤10℃/min

熱偶:K型熱偶    

電壓:AC208-240,50Hz  


最大功率: 7KW


爐管尺寸

以下幾種尺寸的高純度石英管可選:


lOD:Φ50 mm×L1000mm


lOD:Φ60 mm×L1000mm


lOD:Φ80 mm×L1000mm


lOD:Φ100 mm×L1000mm


加熱區(qū)

加熱區(qū)長(zhǎng)度:900mm (三溫區(qū)300+300+300mm)

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命)

溫控系統(tǒng)

l包含一款YD858P型溫度控制器


lPID自動(dòng)控溫系統(tǒng)


l智能化50段可編程控制


l控溫精度:±1℃


l默認(rèn)DB9 PC通信連接端口


l可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。


密封法蘭

1.上端法蘭上焊有一吊環(huán),以方便用高溫絲將樣品吊在爐管中進(jìn)行燒結(jié)

2.可選:本公司生產(chǎn)的帶鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空計(jì)

  

3.多種接頭可選,具體請(qǐng)咨詢銷售部


外形尺寸

 1300(L)×630(W)×1780(H)(2019.11.14--JS2)


質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。


特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書


真空系統(tǒng)

l通過機(jī)械泵可達(dá)到10E-2 Torr.參考值,具體請(qǐng)點(diǎn)擊

l通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr.參考值,具體請(qǐng)點(diǎn)擊

l漏氣率< 5 mTorr / min.參考值,具體請(qǐng)點(diǎn)擊


質(zhì)量認(rèn)證

·此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證

  證書編號(hào): M.2021.206.C67997

·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證



使用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。

石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃。

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)。

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊。

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


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