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實驗設(shè)備及參數(shù)：氬氣氛圍，OTF-1200X-50S-PE-SL、OTF-1200X-50-4CLV-PE（管徑80，PE最大功率500W）、VRD-8、VRD-16、VRD-24、VRD-48，質(zhì)子流量計、OTF-1200X-50S-PE-SL                                         進氣速率0-300sccm，OTF-1200X-50-4CLV-PE進氣速率0-1000sccm。

實驗?zāi)康模?/span>通過控制進氣量，測試不同型號泵的抽速對PECVD起輝效果的影響。通過控制進氣量，測試管徑、最大功率對PECVD起輝效果影響

實驗結(jié)論：

（1）對于使用同一臺機械泵，進氣端靠近線圈比進氣端遠離線圈時所需起輝功率更小；

（2）在可起輝的真空范圍內(nèi)，起輝功率隨著真空度升高而降低，但總體相差不大；

（3）相對于OTF-1200X-50S-PE-SL設(shè)備，隨著進氣量增大，系統(tǒng)真空度逐漸降低，需要更大抽速的機械泵維持系統(tǒng)的高真空度；

使用VRD-8和VRD-16，進氣端靠近線圈時，進氣量≦20sccm，輝光可充滿全管，而進氣端遠離線圈時，需要進氣量≦3sccm；

使用VRD-24進氣端靠近線圈時，進氣量≦50sccm，輝光可充滿全管，而進氣端遠離線圈時，需要進氣量≦5sccm；

使用VRD-48進氣端靠近線圈時，進氣量≦100sccm，輝光可充滿全管，而進氣端遠離線圈時，需要進氣量≦20sccm；

（4）對比OTF-1200X-50S-PE-SL與OTF-1200X-50-4CLV-PE：

相同進氣速率下（尤其是高進氣速率時），管徑越大越易起輝；

相同進氣速率下（尤其是高進氣速率時），起輝功率越大輝光范圍越長；

（5）在PECVD使用期間，由于真空泵抽速影響會對浮子流量計產(chǎn)生影響，因此在進行邊進氣邊抽真空的實驗中要使用質(zhì)子流量計控制進氣量；

（6）進氣量保持不變，調(diào)節(jié)進氣針閥對系統(tǒng)真空度的影響：初期朝關(guān)閉方向旋緊針閥對系統(tǒng)真空度幾乎無任何影響，在針閥即將關(guān)閉的最后一至半圈，旋緊針閥，系統(tǒng)真空度急劇增大。

實驗步驟：

（1）按圖示連接設(shè)備

進氣端遠離線圈圖示                                  進氣端靠近線圈圖示

（2）使用質(zhì)子流量計控制進氣量為300sccm，使用VRD-8最大抽速對整個系統(tǒng)進行抽真空，待系統(tǒng)穩(wěn)定后記下泵口出小藍表真空度，打開射頻電源，測試系統(tǒng)可起輝的最小功率，待起輝后，將功率增大至300W，觀察輝光變化并記錄；

（3）降低進氣量（200、100、50、20、10、5、3、1、0），重復(fù)上述實驗；

（4）實驗結(jié)束后，調(diào)換進氣口與泵抽氣口位置，重復(fù)步驟（1）和（2）。

（5）更換機械泵（VRD-16、VRD-24、VRD-48），重復(fù)步驟（1）、（2）和（3）。

（6）使用VRD-48，更換OTF-1200X-50-4CLV-PE（80管徑）設(shè)備，進氣量（1000，,800、500、300、200、100、50、20、10、5、3、1、0）重復(fù)上述實驗。

實驗結(jié)果：

圖 1.泵的抽速對輝光長度的影響（進氣端靠近線圈）      圖 2.泵的抽速對輝光長度的影響（進氣端原理線圈）

圖 3.真空度(Torr)與流量的關(guān)系                           圖 4.管徑對輝光長度影響

特別聲明：

1. 以上所有實驗僅為初步探究，僅供參考。由于我們水平有限，錯誤疏漏之處歡迎指出，我們非常期待您的建議。

2. 歡迎您提出其他實驗思路，我們來驗證。

3. 以上實驗案例及數(shù)據(jù)只針對科晶設(shè)備，不具有普遍性。

4. 因為涉及保密問題，以上數(shù)據(jù)僅為部分數(shù)據(jù)，歡迎老師與我們聯(lián)系，我們非常期待和您共同探討設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)。